| P18.XYZ三維XYZ軸壓電掃描臺,內置高性能壓電陶瓷作為驅動元件,采用SGS傳感器閉環,實現精密高速定位運動,產品結構緊湊,易于集成,具有較高的重復定位精度和動態定位性能。 特性 • 三維XYZ向運動,zui大行程280μm/軸          • zui大承載1kg            • 通孔尺寸:Ø35mm                      • 閉環重復定位精度高                                • 響應速度快  | 外觀形狀 | 產品運動示意圖 | 臺體采用放大機構設計,運動行程范圍大 |  | 
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   | 大位移、大承載、高剛、高頻響 | 頻率負載曲線 |  應用實例-納米光刻 |  | P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動,P18.XYZ200可以實現zui大280μm的掃描范圍,運動直線性好,可選擇閉環版本獲得優異的線性度與重復定位精度。 P18.XYZ200采用*的結構設計,具有大剛度、大出力、大承載等特點,zui大承載達1kg,XYZ軸空載諧振頻率分別可達300Hz、200Hz、120Hz,配套芯明天大功率控制器響應時間zui高可達5ms,是精密加工、半導體制造、掃描顯微等應用。 | 
 | 在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動,從而優化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優點應用于納米光刻實驗。 
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   | 平穩和精確的掃描圓形驅動 |  | 精準圓形驅動控制,可以通過精切定位XY平臺的每一軸,采用正弦波90°相差輸入,也可以通過PID修正位移進行調整,根據頻率幅值以及負載使得驅動控制平穩精確。  |  | 
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       應用        • 圖像處理與穩定          • 精密定位          • 掃描顯微          • 干涉/計量          • 半導體測量                 • 表面檢測          • 光學計量          • 光學顯微成像        • SPM掃描顯微鏡          • 掩模/晶圓定位    • 生物技術          • 表面結構分析 P18全系列產品 P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式,可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。 | 
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 |  | P18.X一維 280μm運動范圍 | P18.X一維 370μm運動范圍 | P18.X一維 740μm運動范圍 | P18.X一維 1.11mm運動范圍 | P18.XY二維 280μm/軸運動范圍 | 
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 |   |   |   |  | P18.XY二維 370μm/軸運動范圍 | P18.XYZ三維 280μm/軸運動范圍 |   | 
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