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型號

長 L

[mm]

寬 W [mm]

高 H [mm]

切角尺寸 [mm]

zui大驅(qū)動電壓 [V]

位移 [µm]±20%

靜電容量 [nF]±20%

諧振頻率 [kHz]±20%

CSAP01

2

2

0.5

0.2×45°

±320

1.5

0.13

1750

CSAP02

5

5

0.5

0.5×45°

±320

1.5

0.83

1750

CSAP03

10

10

0.5

1×45°

±320

1.5

3.32

1750

CSAP04

15

15

0.5

1.5×45°

±320

1.5

7.47

1750

X方向運動

X/Y方向運動

X/Y/Z方向運動

NAC240X-H1.7

NAC240X-H3.4

NAC290X-H2.8

NAC290X-H6.4

NAC340X-H7.4

NAC290X-H33.6

型號

運動軸

長 [mm]±0.20

寬 [mm]±0.20

高 [mm]±2%

位移 [μm]±20%

靜電容量 [nF]±20%

諧振頻率 [kHz]±20%

NAC2402-H1.7

X

5

5

1.7

1.5

0.8

520

NAC2402-H2.3

X

5

5

2.3

3

1.7

700

NAC2402-H3.4

X

5

5

3.4

6

3.3

245（次諧振點）

415（主諧振點）

NAC2403-H1.7

X

10

10

1.7

1.5

3.3

470

NAC2403-H2.3

X

10

10

2.3

3

6.6

350

NAC2403-H3.4

X

10

10

3.4

6

13.3

148( 次諧振點）

240( 主諧振點）

NAC2902-H2.8

X/Y

5

5

2.8

1.5/1.5

0.8/0.8

255/255

NAC2902-H4

X/Y

5

5

4

3/3

1.7/1.7

220/220

NAC2902-H6.4

X/Y

5

5

6.4

6/6

3.3/3.3

185/185

NAC2903-H2.8

X/Y

10

10

2.8

1.5/1.5

3.3/3.3

290/290

NAC2903-H4

X/Y

10

10

4

3/3

6.6/6.6

148/148（次諧振點）

240/240（主諧振點）

NAC2903-H6.4

X/Y

10

10

6.4

6/6

13.3/13.3

130/130

NAC3402-H7.4

X/Y/Z

5

5

7.4

1.5/1.5/1.5

0.8/0.8/5.5

102/102/102

NAC3402-H12.6

X/Y/Z

5

5

12.6

3/3/3

1.7/1.7/11.1

106/106/106

NAC3403-H7.4

X/Y/Z

10

10

7.4

1.5/1.5/1.5

3.3/3.3/21.4

150/150/150

NAC3403-H12.6

X/Y/Z

10

10

12.6

3/3/3

6.6/6.6/42.7

107/107/107

NAC3403-H23.1

X/Y/Z

10

10

23.1

6/6/6

13.3/13.3/85.4

60/60/60

NAC3404-H12.6

X/Y/Z

15

15

12.6

3/3/3

14.9/14.9/92.8

86/86/86

NAC3404-H23.1

X/Y/Z

15

15

23.1

6/6/6

29.8/29.8/185.7

69/69/69

NAC3404-H33.6

X/Y/Z

15

15

33.6

9/9/9

44.8/44.8/278.5

52/52/52