芯明天推出P18大行程壓電納米定位臺，運動范圍Z大可達1.1mm
更新時間： 2018-05-21
P18系列是基于壓電驅動的納米定位平臺，它的特點是體積緊湊、外形超薄，對于X向200微米運動版本的尺寸僅為100 x 100 x 15mm，X向zui大行程可達1.1mm，對應外形尺寸為100 x 100 x 44mm。中心具有直徑35mm的通孔，非常適于顯微或掃描應用中的樣品定位。
P18壓電納米定位臺內部由高性能壓電疊堆陶瓷驅動，具有響應速度快、分辨率高、承載力大等特點，zui大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配套芯明天大功率控制器響應時間zui高可達5ms，是精密加工、半導體制造、掃描顯微等應用的理想選擇，也適用于一至三維的精密掃描定位應用。
P18系列產品特點
◎ X、XY、XYZ多種運動方向可選；
◎ 體積緊湊：長100×寬100mm；
◎ 多種標稱行程可選：
280μm、370(或±185)μm、740μm、1110μm；
◎ 中心通孔尺寸：Ø35mm；
◎ 納米級定位精度；
◎ 高性能壓電促動器驅動，使用壽命長；
頻率負載曲線及優異的導向設計
P18頻率負載曲線示意圖：
優異的導向設計：
通過有限元分析的撓曲鉸鏈機構用于緊湊的壓電平臺。因其柔性鉸鏈結構為*自由、無摩擦的，無論多么微小的距離，撓曲鉸鏈都能夠達到*的運動精度。同時，也將運動方向的剛度進行了優化。
伺服控制定位，納米級分辨率
高分辨率、高帶寬的應變傳感器（SGS）裝配于驅動機構的zui恰當的位置，用以直接測量平臺移動部件的位移。SGS傳感器確保了zui適宜的定位穩定性，精度在納米范圍，且響應速度快。
開環版本對于要求快速響應及非常高分辨率但定位不重要的應用是非常理想的。
開環版本也適用于使用外部直線定位傳感器的應用，外部傳感器如干涉儀，PSD（位置敏感傳感器），CCD片/成像處理系統，或操作員的眼手配合調節。
P18.X一維開環曲線
P18系列產品運動方式
P18系列壓電納米定位臺可產生一維X向運動，也可組合形成XY二維或XYZ三維運動。位移行程從0μm至1.1mm范圍可選。
P18.X一維運動方式
P18高性能壓電促動器保證使用壽命長
通過高性能多層壓電促動器可保證zui高的可靠性。芯明天促動器外部的絕緣性使其可抵御環境的濕度及漏流風險?？煽啃约皦勖h優于傳感促動器。
P18系列1-3維掃描臺，多種行程可選
P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。
Δ 一維X向運動可選行程：
280μm、370（或±185）μm、740μm、1110μm；
Δ 二維XY向運動可選行程：
280μm、370（或±185）μm；
Δ 三維XYZ向運動行程：
280μm；
典型應用/Applications
| • 圖像處理與穩定 | • 掃描顯微 |
| • 干涉計量 | • 表面檢測 |
| • 半導體測量 | • 光學計量 |
P18系統產品部分參數
P18部分參數（尾綴S:閉環；尾綴K：開環）
型號 | P18.X200S | P18.X600S | P18.X900S | 單位 |
運動自由度 | X | X | X |
|
標稱行程范圍 | 200 | 600 | 900 | µm |
zui大行程范圍 | 280 | 740 | 1110 | µm |
傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
|
分辨率 | 8/5 | 15/5 | 25/5 | nm |
線性度 | 0.2/- | 0.25/- | 0.4/- | %F.S. |
重復定位精度 | 0.15/- | 0.15/- | 0.2/- | %F.S. |
推/拉力 | 60/20 | 150/150 | 90/90 | N |
剛度 | 0.3 | 0.3 | 0.1 | N/µm |
空載諧振頻率 | 0.5 | 0.3 | 0.12 | kHz |
承載能力 | 2 | 2 | 1 | Kg |
靜電容量 | 11 | 42 | 63 | μF |
重量 | 200 | 380 | 600 | g |
高 | 15 | 29.5 | 44 | mm |
長×寬 | 100×100 | mm | ||
通孔 | Ø35 | mm | ||
工作溫度范圍 | -20~80 | °C | ||
材質 | 鋁 |
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出線長 | 1.5 | m | ||
傳感/電壓連接器*** | LEMO |
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應用實例-納米光刻
在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優點應用于納米光刻，匹配芯明天E01.D3壓電控制器使用，可達到較好的位移、精度等性能。
推薦配套驅動器與控制器
E01.D3（尺寸：280×170×360mm）
E70（尺寸：240×60×140mm）
E72.S3（尺寸：116×77.5×100mm）
