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N59.30K壓電馬達(dá)是利用超聲諧振驅(qū)動(dòng)原理，通過(guò)PZT壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，產(chǎn)生超聲波頻率的機(jī)械振動(dòng)，再通過(guò)摩擦驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使其產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)。由于超聲波的頻率超出了人的聽(tīng)覺(jué)范圍，所以超聲壓電馬達(dá)區(qū)別于粘滑原理的壓電馬達(dá)噪聲會(huì)更小。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上，超聲壓電馬達(dá)的體積會(huì)更為小巧，可達(dá)cm級(jí)行程，納米級(jí)精度，且響應(yīng)速度快，可斷電自鎖等特點(diǎn)。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

一維X向運(yùn)動(dòng)

行程達(dá)30mm或±15mm

速度達(dá) 25mm/s

分辨率達(dá)50nm

負(fù)載能力達(dá)0.2kg

斷電自鎖

真空版、閉環(huán)版本可選

可組多維版本

產(chǎn)品應(yīng)用

光學(xué)儀器

精密儀器

醫(yī)療器械

微劑量注射器

科學(xué)研究

光纖對(duì)接

微細(xì)加工

原子力顯微鏡

半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等

小負(fù)載、大行程納米定位

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	N59.30K
運(yùn)動(dòng)自由度	X
標(biāo)稱行程范圍	30mm或±15mm
速度上限	25mm/s
分辨率	50nm
負(fù)載能力	0.2kg
工作溫度	0~50℃
材質(zhì)	鋁，不銹鋼
重量	15g（不含線及連接器）
電纜長(zhǎng)度	1.5m

配套控制器

E66.A2K-H板卡式壓電控制器可控制N59.30K超聲壓電馬達(dá)，單通道開(kāi)環(huán)驅(qū)動(dòng)，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號(hào)控制，操作更便捷，小體積設(shè)計(jì)更易集成。

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