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XD505.T0S是由芯明天研發設計的一款大負載的二維偏擺臺,可產生θx、θy兩軸偏轉。它的承載能力可達20kg，負載后仍可高動態、高精度運動，配置閉環傳感器，分辨率0.01μrad，尺寸為140×140×40mm^3，同時中心具有60×60mm^2的通孔，非常適用于透射光應用，實物外觀如下圖所示。

產品特點

•θx、θy二維偏轉

•承載達20kg

•開閉環版本可選

•中心通孔：60×60mm^2

產品應用

•透射光應用

•大型負載應用

•光束偏轉/穩定

•激光合束

技術參數

型號	XD505.T0S
運動自由度	θx、θy
傳感器	SGS
標稱偏擺角度（0~120V）	0.28mrad/軸
偏擺角度（0~150V）	0.35mrad/軸
分辨率	0.01μrad
空載諧振頻率	4.6kHz/軸
帶載諧振頻率@5kg	θx 0.4kHz/θy 0.32kHz
階躍時間	50ms
承載能力	20kg
靜電容量	14.4μF
材質	鋼、鋁
重量（含線）	2100g

配套控制器

E70系列壓電控制器非常適用于驅動XD505.T0S壓電偏擺臺，它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器，可通過串口、USB或網口進行數字通信的三通道壓電控制器。

壓電偏擺臺典型應用舉例

1.顯微成像

隨著科技的不斷發展，人們對材料和生物微觀世界的探索越來越深入，超高分辨率顯微成像技術也越來越重要。超高分辨率顯微成像技術通過使用前沿的光學系統和靈敏的成像設備來呈現高清的細節，壓電偏擺臺是其中非常重要的部件之一。它能帶動樣本進行θx、θy偏擺或θz旋轉，或z向升降調平與聚焦，可選擇內置精密傳感器進行全閉環位置反饋，具有非常高的運動控制精度，偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時間為毫秒量級，使顯微成像分辨率大幅提升。

2.激光合束

激光合束對準的裝置涉及激光合束對準技術領域、光電干擾技術領域及激光致盲干擾技術領域，系統目的是實現對目標的精密跟蹤與瞄準。激光發射系統是對激光束進行擴束、準直、聚焦的光學系統。為消除大氣抖動、湍流等因素對激光傳輸的影響，常采用自適應光學技術，通過實時修正可調壓電偏擺臺，提高激光合束對準精度保證激光束聚焦良好。