壓電偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與控制系統(tǒng)
P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸θx、θy的高速精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及Z 軸直線運(yùn)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。
特點(diǎn)
• θx, θy 偏轉(zhuǎn)，Z 軸升降
• 偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)6mrad
• 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
• 閉環(huán)定位精度高
典型應(yīng)用
• 圖像處理與穩(wěn)定
• 光學(xué)捕獲
• 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn)
• 激光調(diào)諧
• 光過濾/光開關(guān)
• 光學(xué)/光束穩(wěn)定
工作原理
P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)而成的，由三支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，以120°角平分放置，采用坐標(biāo)變換，運(yùn)動(dòng)可以分不同機(jī)構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)除了可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的傾斜，也可實(shí)現(xiàn)平臺(tái)Z向的直線移動(dòng)，可以用于校正光學(xué)路徑長(zhǎng)度。如下圖所示，A、B、C表示測(cè)量的3點(diǎn)處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計(jì)算公式分別如下。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：P32
運(yùn)動(dòng)自由度：θx, θy, Z
θx, θy偏轉(zhuǎn)角度：5mrad@120V
θx, θy偏轉(zhuǎn)角度：6mrad@150V
Z向行程：30μm@120V
Z向行程：37.5μm@150V
傳感器類型：SGS
閉/開環(huán)偏轉(zhuǎn)分辨率：0.1/0.05μrad
閉/開環(huán)直線分辨率：1/0.5 nm
閉環(huán)線性度：0.05%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.
空載諧振頻率：2kHz
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間：5/2ms
靜電容量：3.6μF/軸
材質(zhì)：鋼
重量：350g
推薦控制器-E70壓電控制器
E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。
E70.D3S壓電控制器采用DC24V供電、集成數(shù)字與模擬控制功能、開/閉環(huán)可選、RS-232/RS-422/USB通訊可選、集成式PZT&sensor迷你接口便于連接，外部可設(shè)定控制功能，操作簡(jiǎn)單便捷。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：E70.D3S-I2
功能：數(shù)字與模擬集成式控制器
通道數(shù)：3
模擬輸入范圍：0-10V
輸出電壓范圍：0-120V（可選 0-150V）
第三通道恒壓輸出
峰值電流：1.1A/通道
平均電流：70mA/通道
放大器帶寬：10kHz/通道
輸出電壓紋波：5mV（2.2μF）
PZT連接器：ECG.1B.314（LEMO）
控制輸入連接器：SMB
傳感器類型：SGS
Sensor輸出連接器：EPG.0B.304（LEMO）
傳感輸出紋波：10mV
通信接口：RS-232/422、USB
上位機(jī)軟件可二次開發(fā)
工作溫度范圍：0-50℃
尺 寸：168.5×134×45.5mm
重 量：1.2kg
供電電壓：24V DC1.5A(36W)
具有過流保護(hù)
17051647888
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