壓電平臺-N12系列
N12 系列壓電掃描臺為 1~3 維并聯式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點，平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環反饋，實現滿行程 0.04% 的重復定位精度。
特點
• 位移 110μm • 承載能力 0.7kg • 臺體中心方形通孔 45×45mm • 閉環重復定位精度高 • 開 / 閉環可選
1~3維掃描臺
N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規格型號,外觀相同。
典型應用
• 掃描顯微 • 共焦顯微 • 晶圓定位
• 表面測量 • 圖像處理與穩定 • 半導體測試
小體積、大位移、中心通孔
N12 系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達 110μm。*的平行運動學設計原理，使得平臺可以實現 XYZ 軸高速精密運動。這款產品的應用非常廣泛，從光學研究到工業化OEM系統等。
該系列壓電掃描臺的通光孔為 45×45mm，高剛度。
閉環傳感定位精度高
N12 系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過 PID 算法調整電壓修正位移，從而實現高精度定位。
N12.XYZ 壓電掃描臺配套芯明天 E72 系列模塊化控制器應用于光學顯微成像，實現XYZ 軸精密掃描。
閉環定位精度
N12.XYZ100S 線性度與重復度實測曲線
頻率負載曲線
開 / 閉環曲線
技術參數
型號：N12.XYZ100S
運動自由度：X、Y、Z
行程范圍（0~120V）：80μm/ 軸
行程范圍（-20~150V）：110μm/ 軸
傳感器類型：SGS
通孔尺寸：45×45mm
閉/開環分辨率：7nm
閉環線性度：0.15%F.S
閉環重復定位精度：0.1%F.S
俯仰/偏航 / 滾動：<20μrad
推/拉力：20N
運動方向剛度：X0.3/Y0.25/Z0.2N/μm
空載諧振頻率：X200Hz/Y150Hz/Z120Hz
閉/開環空載階躍時間：30ms/0.8ms
承載：0.5kg
靜電容量：1.8μF
材質：鋼、鋁
重量：350g
