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芯明天壓電精瞄鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P22系列

運動自由度：θx

光束偏轉范圍：8mrad

分辨率：0.1μrad

空載階躍時間：0.8ms

P33系列

運動自由度：θx θy

光束偏轉范圍：27mrad

分辨率：0.02μrad

空載階躍時間：1ms

P34系列

運動自由度：θx θy

光束偏轉范圍：12mrad

分辨率：0.02μrad

空載階躍時間：1ms

P31系列

運動自由度：θx θy

光束偏轉范圍：50mrad

分辨率：1μrad

空載階躍時間：3.2ms

P35系列

運動自由度：θx θy 

光束偏轉范圍：50mrad

偏轉分辨率：1μrad

空載階躍時間：0.88ms

P32系列

運動自由度：θx θy Z

光束偏轉范圍：12mrad

直線行程：40μm

偏轉分辨率：0.05μrad

直線分辨率：0.5nm

空載階躍時間：2ms

P36系列

運動自由度：θx θy Z

光束偏轉范圍：1.6mrad

直線行程：12μm

偏轉分辨率：0.02μrad

直線分辨率：0.1nm

空載階躍時間：0.5ms